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Roboterzelle zur optischen und elektrischen Inspektion von Dünnfilmschaltungen auf Drucksensoren Der "Meproscan 6150" ist eine Roboterzelle zur optischen und elektrischen Inspektion von Dünnfilmschaltungen auf Drucksensoren. Es ist eine elektrische Dünnfilmschaltung (Durchmesser 4,5 - 11 mm) optisch auf Unterbrechungen, Breite der Leiterbahnen und auf Kurzschlüsse zu inspizieren. Anschliessend ist die Schaltung noch elektronisch zu pürfen. Hierzu entnimmt ein Scara Roboter mit Vakuumsauger die Sensoren aus den Trays (Transportboxen) und präsentiert sie einer hochauflösenden Kamera (0.003 mm/Pixel) mit spezieller Beleuchtung. Die Kamera führt die Inspektion durch und ermittelt die relative Y/X- Position sowie die Winkelposition der Dünnfilmgeometrie. Mit diesen Daten führt der Roboter die erforderliche orthogonale und rotatorische Lagekorrektur des Prüflings durch, damit die Anschlusspads der Schaltung mit einer Genauigkeit von +/- 0.02 mm auf die Prüfnadeln aufgesetzt und die elektrische Prüfung durchgeführt werden kann. Die Gut/Schlecht Sortierung erfolgt durch Ablage der Sensoren in entsprechende Trays.